小さな注文からていねいに
成形ベローズ、高真空L型バルブのお求めは京都の京屋へ。
様々なお客様のニーズに柔軟にお応えします。
その他製品も多種お取り扱いしております。
詳しくは弊社ウェブサイトをご覧ください。
小ロット対応
取引先と連携を取り、小ロットからのご利用を実現。お客様の多様なニーズにお応えします。
メーカー営業・担当が同行
メーカー営業・担当者とお客様のもとへ直接お伺いし、より密なお取引を実現いたします。
正規代理店ならではの対応
入江工研をはじめ、メーカー正規代理店ならではの豊富な知識でお客様をサポートいたします。
金属ベローズは半導体・液晶・真空機器・加速器・核融合・原子力・石油化学・建築分野をはじめとし、気体・流体の気密シール用部材として使用されております。その利用として、真空中の輸送部に用いる大気のシール材として、また「完全漏洩防止」シール材として真空バルブや一般産業用のバルブへの採用が多くなってきております。
昨今では特殊な材質の要求や、ベローズ表面のクリーン度、大型化、長寿命など年々高度な仕様が求められています。
ベローズ仕様に対して、規格品、応用品(個別設計)、特注品(新規設計)とに分けて、ご要求に対応させていただきます。
*様々なご使用に対して対応させていただきますのでお気軽にご相談ください。
KF規格成形ベローズ(ISO KF フランジ付)
内部 | 真空 |
---|---|
外部 | 大気圧 |
使用温度 | 20℃(ベーキング時max250℃) |
リークテスト | He ガスリーク
1×10^9 Pa・m3/s 以下 |
ベローズ材質 | SUS316L |
フリンジ材質 | SUS316 |
繰り返し寿命 | 1×10^4回 |
型式 | ベローズ | フランジ | Lの作動範囲 | 軸方向 バネ定数 |
有効面積 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
内径 | 外径 | 板厚 | 長さ | 外径 | 内径 | 長さ | ||||
Bi | Bo | t | l | D | A | t | ||||
KF10 | 12.9 | 19 | 0.15 | 50 | 30 | 12.2 | 20 | 87~93 | 15.7 | 2.0 |
KF16 | 16.1 | 23 | 0.15 | 50 | 30 | 17.2 | 20 | 86~94 | 14.7 | 3.0 |
KF25 | 22.9 | 33 | 0.15 | 65 | 40 | 26.2 | 20 | 96~111 | 7.0 | 6.1 |
KF40 | 43.6 | 58 | 0.15 | 75 | 55 | 41.2 | 20 | 100~130 | 5.4 | 20.3 |
KF50 | 50.1 | 65 | 0.15 | 85 | 75 | 52.2 | 20 | 110~140 | 5.2 | 26.0 |
KF63 | 76.3 | 92 | 0.15 | 85 | 87 | 70.2 | 20 | 108~142 | 7.6 | 55.6 |
KF80 | 90.1 | 109 | 0.15 | 100 | 114 | 83.2 | 25 | 130~170 | 5.3 | 77.8 |
KF100 | 106.5 | 125 | 0.15 | 100 | 134 | 102.2 | 25 | 130~170 | 6.9 | 105.2 |
CF規格成形ベローズ(コンフラットフランジ付)
内部 | 真空 |
---|---|
外部 | 大気圧 |
使用温度 | 20℃(ベーキング時max250℃) |
リークテスト | He ガスリーク
1×10^9 Pa・m3/s 以下 |
ベローズ材質 | SUS316L |
フリンジ材質 | SUS304 |
繰り返し寿命 | 1×10^4回 |
型式 | ベローズ | フランジ | Lの作動範囲 | 軸方向 バネ定数 |
有効面積 | ||||||
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内径 | 外径 | 板厚 | 長さ | 外径 | 内径 | 穴ピッチ | 取付穴 | ||||
Bi | Bo | t | l | D | A | C | - | ||||
CF34 | 9.7 | 13.5 | 0.15 | 30.6 | 33.8 | 7.2 | 27.0 | 6-4.4 | 44~46 | 58.5 | 1.1 |
CF70 | 30.2 | 41.0 | 0.15 | 54.6 | 69.3 | 12.7 | 58.7 | 6-6.8 | 72~88 | 9.1 | 10.0 |
CF114 | 50.1 | 65.0 | 0.15 | 60.0 | 113.5 | 17.5 | 92.2 | 8-8.5 | 83~107 | 6.8 | 26.0 |
CF152 | 90.1 | 107.0 | 0.15 | 65.4 | 151.6 | 19.8 | 130.3 | 16-8.5 | 92~118 | 9.7 | 76.3 |
CF203 | 134.7 | 153.0 | 0.15 | 70.2 | 202.4 | 22.4 | 181.1 | 20-8.5 | 101~129 | 12.8 | 162.5 |
CF253 | 180.0 | 208.0 | 0.30 | 80.8 | 253.2 | 24.6 | 231.9 | 24-8.5 | 114~146 | 42.5 | 295.6 |
高真空アングルバルブは豊富な実績を持つ成型・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空フランジ付きの三種類の接続形式に、手動及び自動(圧空式)をシリーズ化しました。
特徴
●バルブ材質の真空側は図邊手ステンレス(SAS)で構成されています。
●全体がコンパクト設定により小型・軽量化されています。
●正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れません。
●取り付け姿勢が自由。(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております)
●機械設計により大きなコンダクタンスが得られます。
●片側回転フランジのため、取り付けが容易。(コンフラットフランジ)
自動(複動・単動[ノーマルオープン・クローズ])
使用圧力 | 大気圧 〜 1x10-6Pa |
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リーク量 | < 1x10-10Pa・m3/s |
寿命回数 |
FLV(自動) 10万回
FLV(手動) 5万回 LX-FLV(自動) 100万回 |
操作圧力 | 0.5〜0.6MPa(自動) |
ベークアウト温度 (耐熱温度) |
バルブボディ 120℃(MAX)
ニューマチックアクチュエータ 65℃(MAX) 電磁弁付きの場合 50℃ (MAX) |
主要構成材料 | バルブボディ: SUS304 |
ベローズ: SUS316(FLV)、ハステロイ®C-22(LX-FLV) | |
シリンダ: アルミニウム | |
弁座シール: バイトン® | |
ボンネットシール: バイトン® |
Model No. / Dimensions | A | B | C | D | E | F |
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(LX)1FLV - 16D.C.O | 132.5 | 93 | 47 | 50 | 22.5 | 40 |
(LX)1FLV - 25D.C.O | 141.5 | 101.5 | 59 | 62 | 24.5 | 50 |
(LX)1FLV - 40D.C.O | 168 | 117.5 | 81 | 84.5 | 33 | 65 |
Model No. / Dimensions | φH | φJ | K | N-φh | Weight(kg) |
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(LX)1FLV - 16D.C.O | 40 | 30 | - | - | 0.7 |
(LX)1FLV - 25D.C.O | 54 | 40 | - | - | 1.1 |
(LX)1FLV - 40D.C.O | 76 | 55 | - | - | 2.1 |
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